Plate heater
プレートヒータ
プレートにヒータエレメントを取付け、プレート面の温度を均一にしたヒータです。
温度に応じて、プレート材質の選定も可能です。
| 製 品 | プレートヒータ |
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| 仕様内容 | 形状 丸ステージ、角ステージ製作可 |
| 使用温度 | 標準タイプ 100～400℃ ※高温タイプ 600～800℃ |
| 用 途 | 弊社のプレートヒータは、研究・開発・生産と様々な用途で使用されております。 近年ではエネルギー産業で益々拡大している太陽電池製造装置における加熱プロセスにおいても使用されており、他にも半導体の成膜装置・基板加熱・焼成・乾燥（樹脂、金属）・接着剤熱硬化・温度シュミレーション試験などに使用されております。 |
| 製品特徴 | ・ヒータ、熱電対からの放出ガスが少なくクリーンな環境で加熱することができます。 ・プレートのサイズが豊富・円型・角型と用途に応じた設計が可能です。 ・環境対応：加圧、真空、不活性ガス、空気 |
円型プレートヒータ
角型プレートヒータ
※上記写真は1例です。「大型角型プレートヒータ」サイズ1000×450(mm)、使用温度600℃
| オプション | 試料固定治具 装置取合い用フランジ リフレクタ 真空チャンバー 電流導入端子 |
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上記以外の「プレートヒータ」も、お気軽にお問い合わせ下さい。
